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德國PI 微型線性平臺U-523PILine®線性平臺

特點：

·         快速定位

·         節(jié)省空間和重量

·         導(dǎo)向精度高

·         傳感器分辨率高達10 nm

·         自鎖，靜止時不發(fā)熱

·         低噪音運行

精密級線性定位平臺

PILine®工作臺特別適合需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時，自鎖驅(qū)動器會保持平臺在機械上穩(wěn)定的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢?yīng)用受益。軸的位置由編碼器測量，光學參考開關(guān)可實現(xiàn)可靠的可重復(fù)運動。壓電驅(qū)動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械游隙或彈性變形對測量沒有影響。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預(yù)加載在可移動的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動器的變形導(dǎo)致聯(lián)接元件相對于轉(zhuǎn)輪周期性的對角運動。每個周期產(chǎn)生的進料為幾納米。高頻導(dǎo)致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)緊抵在轉(zhuǎn)輪上，可在靜止和關(guān)閉時確保驅(qū)動器自鎖。

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微操作，自動化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應(yīng)用，10 ^-6hPa的真空應(yīng)用（可選）。